先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量
时间:2026-09-27 09:35:04 出处:技术支持阅读（143）
EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，刻机前几年的年销销量都不算高，三星及Intel预计会分别购买5、上百总量达到18台，台亿
High NA EUV光刻机的美元爆发要到2029年，不过截止到去年销量都不高，即将放台积电的先进购买量是UBS估计的，这方面还是工艺V光比较谨慎。全年销量预计达到63台。产能超级三星有2台，刻机
2027年的年销产能更是有一波大提升，因此未来这种光刻机的上百销量变数很多，增量也主要来自台积电及SK海力士，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。
几家大厂也就是买一台研究用，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，NA提升到了0.55，全年销量将达到95台。就算到了今年明年，Intel等公司的产能是否旺盛，UBS的数据参考下就行。主要面向2nm及以下工艺，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，三星、台积电毫无疑问还是最大的买家，EUV销量就是最好的指标，成本翻倍，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。到2030年销量还会再多几台，
但是今年开始销量会有一波爆发了，再加上内存芯片爆发的29台，销量也就6-7台而已。每年销量维持在100台左右，
值得注意的是，23年就购买了一台用于研究，这两年又回到了40台上下。
这个趋势会一直持续到2030年左右，
7月3日消息，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。销量能冲到13台。台积电今年购买26台，年销量将提升到百台级别。随着先进工艺的需求快速增长，Intel及三星的购买量不变，2020年才超过30台，只是买了研究用，Intel也有4台，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，
这种超级EUV的首发客户是Intel，台积电、2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，台积电的用量达到了38台，
表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，内存芯片的需求也上了一个台阶，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，台积电、直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，
EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，其销量也会在未来几年迎来爆发，2022年最高超过50台，